該產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位，它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡(jiǎn)單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)用于在SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。 該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)...