低溫液氮探針臺
低溫液氦探針臺特征
1.真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-3Pa。降溫后優(yōu)于6×10-4Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）；
2. 探針控制：標(biāo)配4個探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)...
低溫液氮探針臺
低溫液氮探針臺，真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-3Pa。降溫后優(yōu)于6×10-4Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）；探針控制：標(biāo)配4個探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。