納米位移臺的位置反饋信號若出現(xiàn)異常，通常來自傳感器、連接、環(huán)境或控制參數(shù)等問題。以下是精煉且?guī)锥蔚呐挪橐c。
納米位移臺的反饋信號須穩(wěn)定可靠，一旦出現(xiàn)異常，會直接影響閉環(huán)控制精度，因此應按由外到內的順序進行快速檢查。
1. 檢查連接與線路
確認傳感器線纜是否松動、彎折或接觸不良。
清潔接口，避免灰塵、金屬屑或油污導致信號干擾。
2. 查看傳感器工作狀態(tài)
判斷電容式、光柵式或應變式傳感器是否受溫度、濕度或震動影響。
檢查是否存在超量程導致輸出飽和或信號中斷。
3. 排查電氣噪聲干擾
關閉周邊強噪聲設備（電機、電源、泵等），觀察信號是否恢復。
查看接地是否穩(wěn)固，避免地環(huán)路造成漂移或抖動。
4. 檢查位移臺自身運動情況
確認導軌是否卡滯、摩擦增大或存在異物。
若出現(xiàn)小幅跳動，可能是壓電堆或驅動器響應不穩(wěn)定。
5. 控制器參數(shù)驗證
檢查增益參數(shù)是否被誤改，尤其是閉環(huán)增益與濾波設置。
恢復到默認控制參數(shù)以排除設置問題。
6. 環(huán)境與溫漂因素
溫度變化過大可能導致電容傳感器漂移。
高頻震動會讓反饋信號呈周期性波動。