納米位移臺在高精度定位和掃描過程中，容易受到自身運動或外界振動的干擾，導(dǎo)致微米級或納米級誤差。為了保證測量和操作的穩(wěn)定性，可以采取以下措施：
平滑加減速
避免突然啟動或停止，在控制軟件中設(shè)置加速度/減速度 Ramp，可減少超調(diào)和機械共振。
降低移動速度
高速移動易產(chǎn)生振動，精密掃描或定位盡量選擇低速模式。
減小外界振動
使用減震平臺或橡膠墊，遠離泵、風(fēng)扇等噪聲源，固定位移臺和樣品支架。
閉環(huán)控制
開啟光柵或電容反饋，可實時修正位移誤差，降低環(huán)境干擾。
溫度管理
預(yù)熱位移臺至工作溫度，避免熱膨脹或零漂，實驗室溫度保持穩(wěn)定。