
納米位移臺(tái)在傾斜安裝時(shí)的影響
納米位移臺(tái)在傾斜安裝時(shí)會(huì)對(duì)其性能和精度產(chǎn)生一定影響,因此需要在設(shè)計(jì)和使用中謹(jǐn)慎考慮。一般來(lái)說(shuō),納米位移臺(tái)是為水平安裝優(yōu)化的,當(dāng)安裝角度發(fā)生變化時(shí),會(huì)引入重力分量、摩擦變化以及結(jié)構(gòu)受力偏差等問(wèn)題。以下是主要影響與建議:
一、運(yùn)動(dòng)精度下降
傾斜安裝會(huì)使重力分量作用于驅(qū)動(dòng)方向,尤其在垂直或大角度傾斜時(shí),重力會(huì)對(duì)位移臺(tái)的驅(qū)動(dòng)元件(如壓電陶瓷、步進(jìn)機(jī)構(gòu)或?qū)к壪到y(tǒng))產(chǎn)生額外負(fù)載。結(jié)果可能導(dǎo)致:
微小位移不再線性響應(yīng);
上升運(yùn)動(dòng)比下降運(yùn)動(dòng)慢,出現(xiàn)非對(duì)稱運(yùn)動(dòng);
控制反饋系統(tǒng)(如閉環(huán)傳感器)補(bǔ)償壓力增大,精度略有下降。
二、回程誤差與摩擦增大
傾斜時(shí),滑軌與導(dǎo)向部件受力不均,摩擦力增大或變化不穩(wěn)定,容易導(dǎo)致回程誤差增加,特別在低速掃描或小步進(jìn)定位中表現(xiàn)明顯。
三、負(fù)載能力受限
如果位移臺(tái)不是為垂直或傾斜工作設(shè)計(jì),其額定負(fù)載在傾斜安裝下會(huì)減小。部分重力作用在驅(qū)動(dòng)方向上,可能造成位移臺(tái)下滑或持續(xù)偏移,從而影響長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
四、振動(dòng)與穩(wěn)定性問(wèn)題
傾斜安裝會(huì)使系統(tǒng)重心偏移,容易產(chǎn)生微小振動(dòng),尤其在動(dòng)態(tài)掃描、快速響應(yīng)時(shí),這種偏移會(huì)放大震動(dòng)或共振現(xiàn)象,影響重復(fù)定位精度。