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當(dāng)前位置:

分辨率高的長行程納米位移臺有哪幾種?

ML-92A與XYMF-133-100A均為長行程納米平移臺,具有分辨率高,行程大,帶有高精度及高分辨率的位置反饋,操作簡單,定位準(zhǔn),能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),其中XYMF-133-100A平移臺可實(shí)現(xiàn)在XY二維空間上的準(zhǔn)確定位,可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動操作及定位的各個領(lǐng)域。

該納米位移臺產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動,運(yùn)動無需潤滑,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動分辨率達(dá)到納米級。能夠步進(jìn)和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。支持開環(huán)/閉環(huán)控制。

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