納米位移臺(tái)的位置反饋信號(hào)若出現(xiàn)異常，通常來(lái)自傳感器、連接、環(huán)境或控制參數(shù)等問(wèn)題。以下是精煉且?guī)锥蔚呐挪橐c(diǎn)。
納米位移臺(tái)的反饋信號(hào)須穩(wěn)定可靠，一旦出現(xiàn)異常，會(huì)直接影響閉環(huán)控制精度，因此應(yīng)按由外到內(nèi)的順序進(jìn)行快速檢查。
1. 檢查連接與線(xiàn)路
確認(rèn)傳感器線(xiàn)纜是否松動(dòng)、彎折或接觸不良。
清潔接口，避免灰塵、金屬屑或油污導(dǎo)致信號(hào)干擾。
2. 查看傳感器工作狀態(tài)
判斷電容式、光柵式或應(yīng)變式傳感器是否受溫度、濕度或震動(dòng)影響。
檢查是否存在超量程導(dǎo)致輸出飽和或信號(hào)中斷。
3. 排查電氣噪聲干擾
關(guān)閉周邊強(qiáng)噪聲設(shè)備（電機(jī)、電源、泵等），觀(guān)察信號(hào)是否恢復(fù)。
查看接地是否穩(wěn)固，避免地環(huán)路造成漂移或抖動(dòng)。
4. 檢查位移臺(tái)自身運(yùn)動(dòng)情況
確認(rèn)導(dǎo)軌是否卡滯、摩擦增大或存在異物。
若出現(xiàn)小幅跳動(dòng)，可能是壓電堆或驅(qū)動(dòng)器響應(yīng)不穩(wěn)定。
5. 控制器參數(shù)驗(yàn)證
檢查增益參數(shù)是否被誤改，尤其是閉環(huán)增益與濾波設(shè)置。
恢復(fù)到默認(rèn)控制參數(shù)以排除設(shè)置問(wèn)題。
6. 環(huán)境與溫漂因素
溫度變化過(guò)大可能導(dǎo)致電容傳感器漂移。
高頻震動(dòng)會(huì)讓反饋信號(hào)呈周期性波動(dòng)。