納米位移臺(tái)是一種用于實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別位移控制和測(cè)量的設(shè)備，其掃描方式包括單軸掃描和多軸掃描兩種。
單軸掃描方式是指在一個(gè)固定的方向上進(jìn)行掃描，例如只在X軸方向上進(jìn)行掃描，通過(guò)改變X軸方向的信號(hào)控制位移臺(tái)上的探針位置來(lái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的位移控制和測(cè)量。
多軸掃描方式則是指在多個(gè)方向上進(jìn)行掃描，例如在X、Y、Z三個(gè)方向上同時(shí)進(jìn)行掃描，通過(guò)改變X、Y、Z三個(gè)方向上的信號(hào)控制位移臺(tái)上的探針位置來(lái)實(shí)現(xiàn)更加復(fù)雜的位移控制和測(cè)量，可以用于實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的三維成像等應(yīng)用。
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